溶射.com|溶射60年の実績。高速フレーム溶射(HVOF)、プラズマ溶射、ガスフレーム溶射、アーク溶射等に対応。
ホーム > 溶射加工 Q&A > その他機能性皮膜形成 > CVD装置のチャンバー内面の部品の損耗抑制する為の溶射は?
アルミナ溶射材(Al2O3, Y2O3)を使用した溶射を行います。
部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。
タグ: 半導体, チャンバー内面, CVD装置
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溶射Q&A 耐摩耗性、硬度、防食・防錆を目的とした、溶射方法、溶射材料などが丸わかり!