輻射を促すグレーアルミナ溶射材（Al2O3TiO2）による溶射によって加熱効率の向上をさせます。
CVD装置
CVD装置の均熱板の加熱効率を向上させる為の溶射は？
輻射を促すグレーアルミナ溶射材（Al2O3TiO2）による溶射によって加熱効率の向上をさせます。
CVD装置のチャンバー内面の部品の損耗抑制する為の溶射は？
アルミナ溶射材（Al2O3, Y2O3）を使用した溶射を行います。
部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。
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