アルミナ溶射材（Al2O3, Y2O3）を使用した溶射を行います。
部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。
チャンバー内面
スパッタリングのチャンバー内面の部品の損耗抑制する為の溶射は？
アルミナ溶射材（Al2O3, Y2O3）を使用した溶射を行います。
部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。
溶射.com｜溶射60年の実績。高速フレーム溶射（HVOF)、プラズマ溶射、ガスフレーム溶射、アーク溶射等に対応。
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アルミナ溶射材（Al2O3, Y2O3）を使用した溶射を行います。
部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。
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部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。