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試作・小ロット　表面改質技術を追求する溶射テクニカルサポーター　溶射から塗装、めっきまでのトータル対応

溶射加工 Q＆A

半導体製造装置の静電チャックの静電チャック誘電層の形成する為の溶射は？

 

アルミナ溶射材（Al2O3, Y2O3）、グレーアルミナ溶射材（Al2O3TiO2）を使用した溶射を行います。

処理基板の温度制御性能の向上の効果が考えられます。

 

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