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ホーム > 溶射加工 Q&A > その他機能性皮膜形成 > 半導体装置の基板搬送アームやステージなどの基板の帯電防止をする為の溶射は?
アルミナ溶射材(Al2O3, Y2O3)、アルミ溶射材(Al)を使用した溶射を行います。
帯電防止の効果が考えられます。
タグ: 帯電防止, 基板搬送アーム, ステージ
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溶射Q&A 耐摩耗性、硬度、防食・防錆を目的とした、溶射方法、溶射材料などが丸わかり!