試作・小ロット 表面改質技術を追求する溶射テクニカルサポーター 溶射から塗装、めっきまでのトータル対応

基板搬送アーム

半導体装置の基板搬送アームやステージなどの基板の帯電防止をする為の溶射は?

 

アルミナ溶射材(Al2O3, Y2O3)、アルミ溶射材(Al)を使用した溶射を行います。

帯電防止の効果が考えられます。

 

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