試作・小ロット 表面改質技術を追求する溶射テクニカルサポーター 溶射から塗装、めっきまでのトータル対応

ドライエッジング装置

ドライエッジング装置のダミーウエハ(Si 製)の損耗抑制する為の溶射は?

 

アルミナ溶射材(Al2O3, Y2O3)を使用した溶射を行います。

部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。

 

ドライエッジング装置のチャンバー内面の部品の損耗抑制する為の溶射は?

 

アルミナ溶射材(Al2O3, Y2O3)を使用した溶射を行います。

部品のメンテナンスや交換の寿命の延長、発塵の低減の効果が考えられます。

 

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